如何將半導(dǎo)體行業(yè)的物流環(huán)節(jié)成功升級(jí),轉(zhuǎn)向智能化流程節(jié)能提效,成為眾多半導(dǎo)體企業(yè)的重要課題。仙工智能作為國(guó)內(nèi)頭部的以智能控制及數(shù)字化為核心的工業(yè)物流解決方案提供商,積累眾多行業(yè)客戶(hù)經(jīng)驗(yàn),目前已將半導(dǎo)體行業(yè)作為重點(diǎn)行業(yè)推進(jìn),致力于為客戶(hù)提供一站式半導(dǎo)體行業(yè)智能物流解決方案。

半導(dǎo)體行業(yè)客戶(hù)的痛點(diǎn)難點(diǎn)是什么?仙工智能在半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)的產(chǎn)品應(yīng)用范圍是什么?成功的項(xiàng)目案例有哪些?仙工智能的 3D 視覺(jué)系統(tǒng)解決方案究竟有何不同?如何落地?

上圖為半導(dǎo)體整個(gè)工藝流程,圖表中清晰標(biāo)注了仙工智能在整個(gè)半導(dǎo)體生產(chǎn)制程中能做的工作,包括清洗、光刻、離子注入、封測(cè)整個(gè)環(huán)節(jié)、除高溫固化和光檢以外的封測(cè)后段環(huán)節(jié)、成品倉(cāng)儲(chǔ)整個(gè)環(huán)節(jié),上述環(huán)節(jié)均使用仙工智能自有的解決方案。
晶圓搬運(yùn)
動(dòng)態(tài)標(biāo)定技術(shù)+多任務(wù)拼合單+機(jī)器人緩存位
在晶圓制造的拉晶、切割、研磨、拋光等環(huán)節(jié)中,仙工智能針對(duì)客戶(hù)的現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備推出了標(biāo)準(zhǔn)化解決方案,類(lèi)似目前的 6 寸晶圓搬運(yùn)機(jī)器人和 8 寸晶圓搬運(yùn)機(jī)器人。
在晶圓搬運(yùn)環(huán)節(jié)中存在兩大痛點(diǎn)。第一、多車(chē)不一致,精度差,仙工智能目前所服務(wù)客戶(hù)表示,此前使用過(guò)類(lèi)似產(chǎn)品,但精度一直無(wú)法達(dá)到理想預(yù)期。
動(dòng)態(tài)標(biāo)定技術(shù)
仙工智能推出了晶圓搬運(yùn)多車(chē)一致性解決方案,自主研發(fā)了動(dòng)態(tài)標(biāo)定技術(shù),多車(chē)可以共享地圖及標(biāo)定的參數(shù)文件,實(shí)現(xiàn)多車(chē)一致性,保證精度,推動(dòng)快速部署。共分四步:
動(dòng)態(tài)標(biāo)定技術(shù)
實(shí)現(xiàn)晶圓搬運(yùn)多車(chē)一致性

● Step 1:每類(lèi)設(shè)備中任選一臺(tái)做好標(biāo)記點(diǎn);
● Step 2:選擇一臺(tái) AMR 機(jī)器人與標(biāo)記點(diǎn)設(shè)備對(duì)接,確保精度符合對(duì)接需求;
● Step 3:將標(biāo)定好的參數(shù)和地圖文件拷貝至其余 AMR;
● Step 4:所有 AMR 自動(dòng)與現(xiàn)場(chǎng)所有自動(dòng)化設(shè)備對(duì)接,完成整體驗(yàn)證。
晶圓搬運(yùn)環(huán)節(jié)中第二個(gè)痛點(diǎn)是工序間節(jié)拍不匹配、效率低,半導(dǎo)體工藝制程周期較長(zhǎng),每個(gè)工序的節(jié)拍互相不匹配,造成存儲(chǔ)和管理難度大,且存在物料出錯(cuò)的風(fēng)險(xiǎn)。
拼合單+緩存位
仙工智能通過(guò)運(yùn)用多種方案結(jié)合的模式以解決上述問(wèn)題。利用仙工智能 拼合單的軟件算法,并且 在整個(gè)機(jī)器人設(shè)計(jì)中加入了緩存位,如此晶圓搬運(yùn)車(chē)體上可有兩個(gè)緩存位,結(jié)合『倉(cāng)庫(kù)-產(chǎn)線』往返運(yùn)輸環(huán)節(jié),通過(guò)預(yù)接單模式,實(shí)現(xiàn)順風(fēng)拼合單功能。此外,仙工智能也會(huì)根據(jù)客戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)情況布局做定制的緩存柜,增加緩存數(shù)量,減少貨物等待時(shí)間。
目前,仙工智能為一家國(guó)際知名半導(dǎo)體企業(yè)進(jìn)行了智能化升級(jí),40 多臺(tái)車(chē)體在客戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行晶圓搬運(yùn)工作,仙工智能還配套提供了統(tǒng)一資源調(diào)度系統(tǒng) RDS 以及倉(cāng)儲(chǔ)物流管理系統(tǒng) MWMS。現(xiàn)階段整個(gè)項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)正穩(wěn)定運(yùn)行,后期也會(huì)有更多類(lèi)似項(xiàng)目。
除去晶圓搬運(yùn),仙工智能在半導(dǎo)體封測(cè)、成品倉(cāng)儲(chǔ)環(huán)節(jié)也設(shè)置了完善的解決方案,旨在通過(guò)強(qiáng)大的軟硬件產(chǎn)品全方位為半導(dǎo)體行業(yè)客戶(hù)制定智能物流解決方案。
仙工智能將出展 2022 ITES 深圳工業(yè)展會(huì),邀請(qǐng)您蒞臨 2-C36 展位,共同探討半導(dǎo)體行業(yè)物流環(huán)節(jié)智能化升級(jí)的相關(guān)話題,以及為您解讀仙工智能打造的半導(dǎo)體行業(yè)一站式智能物流解決方案。